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图2：带有扫描头的激光器。聚焦通过F-Theta平场
镜头实现；varioCSCAN部件使焦点能沿Z轴定位。
对于聚焦，典型的是使用专门的平场镜片，即，F-Theta镜头，安装在扫描头的光束出射处。这个镜头聚焦经过准直后的激光而不受限于偏转镜的位置，且聚焦后总是在一个平面内。这种F-Theta镜头有许多不同的波长以及焦距可供选择。所得到的象场边长通常是镜头焦距的50%-70%。被用于材料微加工的远心F-Theta镜头将激光束垂直的聚焦在象场，边长典型值为50mm。
图3：激光光束通过扫描系统聚焦（左起）：预聚焦透镜，
F-Theta镜头，动态预聚焦，以及动态预聚焦与F-Theta镜头组合。 字串5
焦斑的直径由镜头的焦距 f，可处理的表面面积，以及激光类型和扫描头的孔径等因素决定。对高斯分布的光束来说，其焦斑直径s，可以通过以下公式计算：
s = λf M2 k / d
这里，λ是激光波长，M2表征光束质量，d是经过聚焦光学系统前的光束直径。参数k表征激光光束由于孔径或者是在镜头内时产生的衍射效应。为了使焦点处的功率密度达到最大，即，提高加工速度，光束宽度必须扩展至与扫描头孔径相等。这种情况下，k = 1.83。
在一些应用中，快速移动的透镜系统被置于扫描器前端，用来调节焦距以符合偏转镜和激光在工件上的目标点之间的距离。这种varioSCAN可变扫描光学装置在没有合适的F-Theta镜头可用时尤其有用，例如在光束直径长或者象场较大时，在高的激光功率或者激光波长特别时就可以使用。此外，这些varioSCAN可变扫描光学部件在扫描范围内可实现三维加工，它们可以被单独使用，或者与F-Theta镜头一起使用。
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