大口径高精度方形平面光学元件研制

 摘要：采用环行抛光技术实现大尺寸、高面形精度和细表面粗糙度要求的方形或长方形平面元件批量化加工的一条有效途径。介绍了利用环行抛光工艺实际制作了两块320mm×320mm×35mm 和320×320×48mmUBK7材料的工艺实验样品。加工的结果是，透射元件获得了镀膜后双次透射波前0.293λ(P-V,λ=0.6328um)和反射元部件的反射波前0.22λ(P-V,λ=0.6328um)的结果。
    关键词：环行浮动抛光技术；工艺实验；透射波前；反射波前
    中图分类号：TH706 文献标识A

    Research of fabricating large quadrate high-precision plane optical elements
    Liu min-cai , Hu xiao-yang , Li zhuang-sheng
   (Chengdu Fine Optical Engineering Research Centre, chengdu 610041, China)
    Abstract : It's a valid means to fabricate large quadrate or rectangle high-precision plane optical elements using annular lapping technology . In this paper , we manufacture 320mm×320mm×35mm and 320×320×48mm UBK7 optical elements with 2 meter annular lapping machines , and the transmission wavefront after coating for 320mm×320mm×35mm is 0.293λ(P-V,λ=0.638um), the reflect wavefront after coating for 320mm×320mm×48mm is 0.22λ(P-V,λ=0.6328um).
    Key words: annular lapping technology experiment ; transmission wavefront ; reflect wavefront .

    1 前言
    为了满足大型光学系统对大口径高精度平面光学元部件的需要，环行抛光技术越来越广泛地应用到实际光学元部件的生产中。采用环行抛光技术（本文中主要涉及大玻璃校正盘修磨的单环行抛光机）加工的光学元部件可以获得较高的面形精度。对于圆形光学元部件来说，使用环行抛光技术可以得到λ/8（P-V），有多年光学加工经验的加工者可以加工到λ/20~λ/40。环形抛光技术在加工大口径高精度平面光学元部件中，同传统的加工方法相比，可以获得更好的面形精度或波前精度，在加工异形光学元部件中更有优势。