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光学玻璃光学均匀性高精度测量技术

更新日期:2007-07-08  作者:  来源:光学精密机械网(ChinaOptic.Com.Cn)收集整理

摘要:高质量的透射光学系统对光学材料的光学均匀性要求非常高,材料局部折射率10-6量级的变化就可能破坏整个系统的性能。详细介绍了三种用于测量光学玻璃光学均匀性的干涉法,研制了一台高精度光学玻璃材料光学均匀性测量仪。实验结果表明:40mm左右厚的光学玻璃材料的光学均匀性检测精度可达1×10-6。
    关键词:环行浮动抛光技术;工艺实验;透射波前;反射波前
    中图分类号:TH706
文献标识:A

    High accuracy testing method of the homogeneity of optical glass
    GUO Pei-ji, YU Jing-chi, DING Zhe-zao, SHUN Xia-fei
   (Institute of Modern Optical Technology, Soochow University, Suzhou 215006, China)

    Abstract:In high quality refractive optical system the homogeneity of optical components is rather high. Local changes in the refractive index of the order of 10-6 will detect the adequate performance of the whole system. In this paper, we describe three optical interference methods to measure the homogeneity of optical glass, a high accuracy apparatus for testing the homogeneity of optical glass is developed, and the test result shows the measurement error is less than 1×10-6.
    Key word:homogeneity of optical glass; testing; high accuracy


    1 引 言
    光学玻璃比普通工业玻璃的质量要求高。光学玻璃的质量检验包括光学性能和光学质量的检验和测试。光学性能包括折射率和色散等光学常数。光学玻璃质量是指熔制和退火过程中的各种缺陷的大小,包括光学玻璃的光学均匀性、应力双折射、条纹、气泡和由杂质引起的光吸收等。光学玻璃的光学均匀性是指同一块光学玻璃内部的折射率的不一致性,常用其内部的折射率的最大差值表示。光学玻璃的光学均匀性是非常重要的玻璃质量标准,因为它直接影响透射光学系统的波面质量,改变系统的波像差。随着现代科学技术和国防事业的发展,对一些透射光学系统的成像质量要求越来越高,迫切需要有高精度的光学玻璃光学均匀性的检测手段,而现在国内的光学材料生产厂家都没有合适的手段来检测这种高要求的玻璃材料。光学玻璃的光学均匀性检测有定性和定量两类方法,高精度的检测方法主要是定量检测波像差的干涉仪。

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